INFICONs umfassende Auswahl mechanischer Durchführungen bietet das richtige Gerät für jede anspruchsvolle Anwendung.
INFICONs umfassende Auswahl mechanischer Durchführungen bietet das richtige Gerät für jede anspruchsvolle Anwendung, egal ob es sich um Beschichtungskammern oder um Ihr angewandtes Forschungsprojekt unter Laborbedingungen handelt.
Die verfügbaren Flanschausführungen ISO-KF / ISO-K und CF entspricht unserer Produktlinie an Anschlüssen. Alle Durchführungen sind zur Verwendung in Vakuumanlagen mit Leckraten bis zu E-9 mbarl/s geeignet. Für UHV ist auch eine ganz in Metall ausgeführte Durchführung erhältlich.
Leistungen
•Zwei FPM-Wellendichtungen
•Direkte Push/Pull- und Drehbetätigung
•Mit Sperrring und optionaler Verdrehsicherung
•2011/65/EU RoHS-konform
Das äußerst kompakte Pirani-Messgerät bietet sehr zuverlässige Messungen im Bereich von 5 E-4 mbar bis Atmosphäre.
Die Pirani-Standardmessgeräte PSG500, PSG502-S, PSG510-S und PSG512-S von INFICON sind mit der fortschrittlichsten Pirani-Digitaltechnologie ausgestattet, die auf dem Markt erhältlich ist. Die robuste Sensorzelle aus Edelstahl und das kompakte Design sind ideal für den Einsatz in Halbleitersystemen und für Standardanwendungen wie z. B. Vorvakuumleitungen.
Leistungen
•Einfache Anpassung von ATM und HV über Drucktasten
•Platzsparendes, robustes Design
•Aluminiumgehäuse
•Montage in beliebiger Position
•Messzelle aus Edelstahl mit metallversiegelter Durchführung
•Logarithmischer Signalausgang für einfache Integration
•10 bar absoluter Überdruck mit Gewindeanschlüssen
•Bei 250 °C ausheizbare Version
•Optionale Ausführung mit Nickelfilament für korrosive Anwendungen
•Keramische Durchführung für extrem korrosive Anwendungen (PSG510 und PSG512)